MSA-600 Mikro Sistem MEMS Analiz Cihazı
MSA-600 mikro sistem MEMS analiz cihazı: 2,5 GHz’e (MSA-600-S ile 6 GHz) gerçek zamanlı titreşim, düzlem içi hareket ve yüzey topografisi.
MEMS ve mikro yapıların dinamik cevabının ve topografyasının ölçülmesi
Yüzey topografisi ve dinamik hareket analizi ve görselleştirme, mikro yapıların test edilmesi ve geliştirilmesi için son derece önemlidir, özellikle de MEMS cihazları (Mikro-Elektro-Mekanik Sistemler) gibi küçük ölçekli sistemler söz konusu olduğunda. Bu analizler, sonuçları doğrulamak, çapraz etkileri tespit etmek ve yüzey deformasyonunu ölçmek için hayati bir rol oynamaktadır.
MSA-600 Mikro Sistem Analizörü, yüzey topografisini değerlendirmenin yanı sıra düzlem içi ve düzlem dışı hareketleri karakterize etmek için kullanılan kapsamlı bir optik ölçüm istasyonudur.
MSA-600-M/V versiyonları, 25 MHz’e kadar olan frekans aralıklarını kapsayarak MEMS, MEMS mikrofonlar ve diğer mikrosistemler için uygundur. MSA-600-X/U versiyonları ise yüksek ve çok yüksek frekans aralığı olan 2,5 GHz’e kadar olan cihazların, HF MEMS rezonatörlerinin, SAW, BAW gibi mikro-akustik cihazların ve benzerlerinin değerlendirilmesi için mükemmel bir seçenektir.
BİR İLK:
MSA-600-S, 6 GHz gerçek zamanlı titreşim analizi ve yüzey topografisi analizi için tasarlanmış özel optik ölçüm iş istasyonudur. FBAR (film yığın akustik rezonatörler), BAW (yığın akustik dalga) filtreleri ve SAW (yüzey akustik dalga) cihazları gibi GHz MEMS’leri test etmek için idealdir.
MEMS için hepsi bir arada optik ölçüm çözümü
MSA-600 Mikro Sistem Analizörü, hem bugünün hem de geleceğin mikro yapıları için ihtiyaç duyulan daha fazla ölçüm esnekliği ve hassasiyet sunarak önemli bir katkı sağlamaktadır. Bu analiz cihazı, hassas 3D dinamik ve statik tepki verileri ile cihaz performansını artırırken geliştirme ve üretim maliyetlerini azaltmaktadır. Bu da tasarım döngülerini iyileştirirken sorun gidermeyi basitleştirir ve verimliliği artırır.
Yüksek performanslı lazer Doppler vibrometre, alt-pikometre seviyesinde yer değiştirme çözünürlüğü ile hızlı ve gerçek zamanlı tepki ölçümü sağlamaktadır. Beyaz ışık interferometresi seçeneği ise saniyeler içinde milyonlarca 3D yüzey verisi elde etmenize imkan tanır. MSA-600, kullanımı kolay ve sezgisel bir kullanıcı arayüzü ile tamamlanmış olup, araştırma, geliştirme (AR-GE) ve kalite kontrol (QC) alanlarında güçlü bir optik ölçüm çözümü sunmaktadır.
Ayrıca, yaygın prob istasyonları ile uyumlu olan bu mikro sistem analizörü, MEMS prototipleme sürecinden test ve sorun gidermeye kadar geliştirme süreçlerinin her aşamasında size yardımcı olur, böylece üretim maliyetlerini düşürmenize ve ürünü pazara sunma süresini kısaltmanıza olanak sağlar.
Wafer düzeyinde ve tek katlı testler
GHz MEMS için özel 6 GHz test çözümü
MSA-600-S, 6 GHz’e kadar titreşim analizi ve yüzey karakterizasyonu sağlayan ilk özel optik ölçüm iş istasyonudur! MSA-600-S’yi GHz cihazları geliştirmek, form parametresi değerlendirmesi adına kalite kontrol ve cihaz performansı ve güvenilirlik testi için kullanın. Bu, FBAR (film yığın akustik rezonatörler) ve diğer GHz rezonatörleri ve cihazları gibi yüksek frekanslı cihazların test edilmesini sağlar.
MSA-600 mikro sistem MEMS analiz cihazı, üç ölçüm tekniğini tek bir mikroskop tabanlı istasyonda birleştirir. Bu bölümde yapılandırma seçenekleri, ölçüm prensipleri ve sisteme entegrasyon ayrıntıları yer alıyor.
MSA-600 mikro sistem MEMS analiz cihazı ile üç ölçüm tekniği
- Düzlem dışı titreşim: Tarayıcı lazer Doppler vibrometre (SLDV), ölçüm noktalarından oluşan bir ızgarada hız ve yer değiştirmeyi temassız ve gerçek zamanlı ölçer. Band genişliği 2,5 GHz’e (MSA-600-S ile 6 GHz) kadardır, yer değiştirme çözünürlüğü (alt) pikometre düzeyindedir. Doğrusal olmayan sistemler de analiz edilebilir.
- Düzlem içi hareket: Stroboskopik video mikroskopi, LED flaş, dijital görüntüleme ve desen takibiyle 2,5 MHz’e kadar bant genişliğinde ve 5 nm yer değiştirme çözünürlüğünde ölçüm yapar. Canlı mod M, V ve X versiyonlarında mevcuttur.
- Yüzey topografisi: Tarama beyaz ışık (koherens tarama) interferometrisi, mavi LED ile alt nanometre düşey ve alt mikrometre yatay çözünürlük sağlar. Düzlik, dalgalılık, pürüzlülük ve geometri parametreleri ölçülür; pürüzlü ya da pürüzsüz yüzeylerde çalışır.
Yapılandırma ve seçim kriterleri
Sistem modülerdir. Düzlem dışı ölçüm tek ışınlı veya iki ışınlı diferansiyel olabilir; diferansiyel yapıda ikinci referans ışını taban ya da arka plan hareketini çıkarır (2,5 GHz’e kadar sistemlerde). Standart yapılandırmalar 2,5 MHz, 300 MHz, 600 MHz ve 6 GHz düzlem dışı bant genişliği sunar; 25 MHz, 1,3 GHz ve 2,5 GHz yükseltmeleri ile 2,5 MHz düzlem içi ve yüzey topografisi opsiyonları sonradan eklenebilir.
- MSA-600-M/V: 25 MHz’e kadar; MEMS ve mikrofon uygulamaları
- MSA-600-X/U: 2,5 GHz’e kadar; HF MEMS rezonatörleri, SAW ve BAW cihazları
- MSA-600-S: 6 GHz’e kadar; FBAR, BAW filtreleri ve SAW cihazları
Yazılım ve veri analizi
Dahili sinyal analizi yazılımı, rezonans frekanslarını önceden bilmeden tüm bant boyunca frekans cevabını verir. Dahili sinyal üreteci geniş bir uyarı dalga formu yelpazesiyle cihazı sürer; zaman domeni, FFT, Zoom FFT, ortalama ve tepe tutma analizleri yapılır. Frekans cevabı verisinden çalışma titreşim şekilleri (ODS) tam alan 3D animasyon olarak görüntülenir. Açık programlama arayüzü ve veri dışa aktarma ile ileri işlem yapılabilir. Zaman domeni opsiyonuyla mikro ayna gibi yapıların konum değişimi sırasındaki dinamiği incelenebilir.
Sisteme entegrasyon
Sensör başlığı sağlam bir portal stand üzerinde, XY konumlandırma tablası ve titreşim izolasyon masasıyla kullanılır; başlık hat içi entegrasyon için tek başına da kullanılabilir. Elektronik genellikle front-end, kontrolcü ve veri yönetimini barındıran 19″ bir kabinde bulunur. Ölçüm kafası piyasadaki hemen tüm wafer prob istasyonlarına monte edilebilir; böylece paketlemeden önce wafer düzeyinde ölçüm yapılabilir. Uzun çalışma mesafeli özel lensler vakum veya iklim odası dışından ölçüm sağlar. Sistem, Polytec tarafından üretilir.
Tek noktalı, endüstriyel veya portatif titreşim ölçümü gerekiyorsa IVS-500 Endüstriyel Lazer Vibrometre ve VibroGo daha uygun olabilir; diğer çözümler için lazer vibrometreler kategorisine bakabilirsiniz.
Polytec MSA-600 için uygun model ve opsiyon seçimi konusunda Marmatek mühendislik ekibinden teknik destek ve teklif alabilirsiniz.
