MEMS ve mikro yapıların dinamik cevabının ve topografyasının ölçülmesi
Yüzey topografisi ve dinamik hareket analizi ve görselleştirme, mikro yapıların test edilmesi ve geliştirilmesi için son derece önemlidir, özellikle de MEMS cihazları (Mikro-Elektro-Mekanik Sistemler) gibi küçük ölçekli sistemler söz konusu olduğunda. Bu analizler, sonuçları doğrulamak, çapraz etkileri tespit etmek ve yüzey deformasyonunu ölçmek için hayati bir rol oynamaktadır.
MSA-600 Mikro Sistem Analizörü, yüzey topografisini değerlendirmenin yanı sıra düzlem içi ve düzlem dışı hareketleri karakterize etmek için kullanılan kapsamlı bir optik ölçüm istasyonudur.
MSA-600-M/V versiyonları, 25 MHz’e kadar olan frekans aralıklarını kapsayarak MEMS, MEMS mikrofonlar ve diğer mikrosistemler için uygundur. MSA-600-X/U versiyonları ise yüksek ve çok yüksek frekans aralığı olan 2,5 GHz’e kadar olan cihazların, HF MEMS rezonatörlerinin, SAW, BAW gibi mikro-akustik cihazların ve benzerlerinin değerlendirilmesi için mükemmel bir seçenektir.
BİR İLK:
MSA-600-S, 6 GHz gerçek zamanlı titreşim analizi ve yüzey topografisi analizi için tasarlanmış özel optik ölçüm iş istasyonudur. FBAR (film yığın akustik rezonatörler), BAW (yığın akustik dalga) filtreleri ve SAW (yüzey akustik dalga) cihazları gibi GHz MEMS’leri test etmek için idealdir.
MEMS için hepsi bir arada optik ölçüm çözümü
MSA-600 Mikro Sistem Analizörü, hem bugünün hem de geleceğin mikro yapıları için ihtiyaç duyulan daha fazla ölçüm esnekliği ve hassasiyet sunarak önemli bir katkı sağlamaktadır. Bu analiz cihazı, hassas 3D dinamik ve statik tepki verileri ile cihaz performansını artırırken geliştirme ve üretim maliyetlerini azaltmaktadır. Bu da tasarım döngülerini iyileştirirken sorun gidermeyi basitleştirir ve verimliliği artırır.
Yüksek performanslı lazer Doppler vibrometre, alt-pikometre seviyesinde yer değiştirme çözünürlüğü ile hızlı ve gerçek zamanlı tepki ölçümü sağlamaktadır. Beyaz ışık interferometresi seçeneği ise saniyeler içinde milyonlarca 3D yüzey verisi elde etmenize imkan tanır. MSA-600, kullanımı kolay ve sezgisel bir kullanıcı arayüzü ile tamamlanmış olup, araştırma, geliştirme (AR-GE) ve kalite kontrol (QC) alanlarında güçlü bir optik ölçüm çözümü sunmaktadır.
Ayrıca, yaygın prob istasyonları ile uyumlu olan bu mikro sistem analizörü, MEMS prototipleme sürecinden test ve sorun gidermeye kadar geliştirme süreçlerinin her aşamasında size yardımcı olur, böylece üretim maliyetlerini düşürmenize ve ürünü pazara sunma süresini kısaltmanıza olanak sağlar.
Wafer düzeyinde ve tek katlı testler
GHz MEMS için özel 6 GHz test çözümü
MSA-600-S, 6 GHz’e kadar titreşim analizi ve yüzey karakterizasyonu sağlayan ilk özel optik ölçüm iş istasyonudur! MSA-600-S’yi GHz cihazları geliştirmek, form parametresi değerlendirmesi adına kalite kontrol ve cihaz performansı ve güvenilirlik testi için kullanın. Bu, FBAR (film yığın akustik rezonatörler) ve diğer GHz rezonatörleri ve cihazları gibi yüksek frekanslı cihazların test edilmesini sağlar.
